TS-HINT: Zeitreihen-Regression in der Halbleiterfertigung mit LLM-Attention-Hints optimieren
In der Halbleiterfertigung, wo die Materialentfernung in Prozessen wie der chemisch‑mechanischen Politur (CMP) präzise vorhergesagt werden muss, setzen aktuelle datengetriebene Ansätze noch auf statische Merkmale aus Ze…